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                      • 光學儀器及設備

                      納米尺度3D光學干涉測量系統VS1800

                      • 型號 VS1800
                      • 產地 日本
                      • 樣本 暫無
                      • 品牌日立

                      核心參數

                      • 儀器種類 超高速激光共聚焦顯微成像系統
                      • 產地類別 進口儀器

                      天美(中國)科學儀器有限公司

                      • 營業執照已審核
                      • 品牌性質經銷商
                      • 白金會員第18年
                      • 信用積分4134
                      • 反饋速度15-18小時
                      • 同類儀器1臺
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                      納米尺度3D光學干涉測量系統VS1800 產品介紹 用戶評論

                      產品介紹

                      產品介紹:

                      納米尺度3D光學干涉測量系統VS1800應用光干涉現象,對微細的表面形貌進行測量,可實現高性能薄膜、半導體、汽車零配件、顯示器等行業所要求的高精度測量。而且還能以無損傷方式進行多層膜的層結構以及層內部的異物測量。

                       

                       

                      主要特點:

                      n  采用光干涉方式,非接觸測量

                      n  3D測量支持線粗糙度和面粗糙度測量

                      n  自動粗糙度參數選擇(ISO25178

                      n  毫米級大面積測量

                      n  高精度測量(垂直方向分辨率0.01nm

                      n  快速、高重復性測量

                      n  多層薄膜和薄膜內層缺陷分析

                       

                      照明系統

                      鹵素光源,波長530nm

                      相機

                      標準相機(640x480像素),高像素相機可選(1024x1024像素)

                      物鏡

                      2.5x5x10x20x50x110x可選

                      顯微鏡控制

                      Z軸馬達控制

                      樣品臺

                      Type1Tpye2Type3

                      減震臺

                      被動式減震臺,主動式減震臺可選

                      掃描器

                      機械馬達掃描器,壓電陶瓷掃描器可選

                      測量軟件

                      VS-MeasureVS-Viewer

                       


                      天美(中國)科學儀器有限公司

                      儀信通白金會員18年

                      常用搭配

                      • 生物顯微鏡 |
                      • 紅外顯微鏡 |
                      • 偏光顯微鏡 |
                      • 立體顯微鏡

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                      • 售后服務
                      • 易用性
                      • 性價比

                      還可以輸入500字 發布

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